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Student Number 93336013
Author HAO-CHIEH SU(蘇浩傑)
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Department Executive Master of Environmental Engineering
Year 2007
Semester 2
Degree Master
Type of Document Master's Thesis
Language zh-TW.Big5 Chinese
Title Investigation on VOCs Emission from TFT-LCD industry
Date of Defense 2008-07-05
Page Count 120
Keyword
  • condenser
  • Regenerative burner
  • TFT-LCD
  • Volatile Organic Compounds
  • Zeolite
  • Abstract In Taiwan TFT-LCD (Thin Film Transistor Liquid Crystal Display) is considered as one of the major industries by the government. By following with the next generation growing and glass substrate expansion, manufacturing exhausted emission has increased continuously. In order to resolve air pollution issue caused by the booming optoelectronics industry, the government published “Air Pollution Controls and Emission Standards for Optoelectronics Materials and Parts Manufacturing” on 5th Jan. 2006.
    This thesis focuses on the analysis of VOCs emission and reduction from a fifth-generation TFT-LCD manufacturing plant. There are five categories in air pollution improvement methods.
    (1)Combine two or more air pollution control devices in series – It can increase the efficiency and reduce the amount of air pollution emission by combining two or more equipments in series.
    (2)Process improvement –To reduce or stop using the materials which cause air pollution. Compared with the tail-of-pipe air pollution control reduction of it’s formation from the source is more effective. (3)Control equipment improvement –Optimization of the operation of existing air pollution control devices optimize the operation parameter to increase the control efficiency and reduce emission by analysis the efficiency of current control system.
    (4)Compared with the fluidized bed adsorption system and scrubber, the RTO and zeolite system resnlts in a better performance.
    (5)The VOC emission factor obtained from this study for TFT-LCD (G5,CF in house) manufacturing process is 0.087 kg/ m2.
    Table of Content 第一章前言………………………………………………………1
      1-1研究緣起…………………………………………………3
      1-2研究目的…………………………………………………3
    第二章文獻回顧…………………………………………………5
    2-1法規探討…………………………………………………5
    2-1-1國際間對相關產業之空氣污染之法律規定……………5
    2-1-2我國對TFT-LCD產業之空氣污染相關法規…………10
    2-2TFT-LCD製程及排氣種類介紹…………………………12
    2-2-1TFT-LCD製程-Array段製程介紹………………………15
    2-2-2TFT-LCD製程-CF段製程介紹…………………………18
      2-2-3TFT-LCD製程-Cell段製程介紹…………………………18
    2-3TFT-LCD製程排放廢氣種類及成分介紹………………19
    2-4空氣污染防治設備及污染防制原理……………………25
    2-4-1洗滌塔去除空氣污染物基本原理-吸收法………………25
    2-4-1-1Wet scrubber 濕式洗滌塔………………………………28
    2-4-1-2濕式洗滌塔基本構造……………………………………29
    2-4-2冷凝器去除空氣污染物基本原理-冷凝法………………32
    2-4-2-1Condenser冷凝器………………………………………34
    2-4-2-2冷凝器基本構造…………………………………………37
    2-4-3沸石轉輪/活性碳流體化床吸附法基本原理-吸附法…………………………………………………………40
    2-4-3-1沸石轉輪/活性碳流體化床………………………………45
    2-4-3-2活性碳流體化床基本構造………………………………47
    2-4-3-3沸石轉輪基本構造………………………………………49
    2-4-4燃燒法基本原理…………………………………………52
    2-4-4-1直然式燃燒爐(TO) 基本構造……………………………56
    2-4-4-2蓄熱式燃燒爐(RTO/RRTO)與蓄熱式觸媒氧化爐…………………………………………………………60
    2-5台灣TFT-LCD產業VOCs防制設備設置概況…………………………………………………………68
    第三章研究設備及方法…………………………………………72
    3-1研究流程…………………………………………………72
    3-2資料收集…………………………………………………74
    3-2-1資料蒐集範圍……………………………………………76
    3-3採樣及分析方法…………………………………………77
    3-3-1Impinger採樣方法………………………………………77
    3-3-2GC-FID採樣分析方法……………………………………78
    3-3-3FTIR採樣分析方法………………………………………80
    3-3-4IC分析方法………………………………………………82
    3-4排放係數推估……………………………………………84
    第四章結果與討論………………………………………………88
    4-1串聯兩種空氣污染防制設備對空氣污染物排放之減量效果………………………………………………………88
    4-2製程改善對空氣污染防制之貢獻………………………91
    4-3現有設備的處理效率和改善方向………………………95
    4-3-1直燃式燃燒爐處理VOCs之最佳操作溫度……………95
    4-3-2直燃式燃燒爐與蓄熱式燃燒爐實廠操作之比較………98
    4-3-3直燃式燃燒爐與流體化床活性碳塔實廠操作之比較…………………………………………………………103
    4-3-4直燃式燃燒爐與濕式洗滌塔實廠操作之比較…………105
    4-4TFT-LCD五代廠之排放係數推估………………………106
    第五章結論與建議………………………………………………110
    5-1結論………………………………………………………110
    5-2建議………………………………………………………111
    參考文獻……………………………………………………………112
    附錄一A廠有機溶劑使用量統計資料…………………………118
    附錄二C廠RTO效率檢測資料…………………………………121
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    Advisor
  • Moo-Been Chang(張木彬)
  • Files
  • 93336013.pdf
  • disapprove authorization
    Date of Submission 2008-07-23

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